在洁净车间内静电导致的事故有以下几方面；
1．静电电导致的静电电击，导致人的不安全和恐惧感，并可形成二次损伤(例如人因受电击而跌倒，由跌倒又致伤)；
2．静电放电导致的放电电流，可导致诸如半导体元件等损坏和误动作，例如将50块P-MOS电路放在塑料袋内，摇晃数次后，与非门栅极严重击穿者计39块，失功率竞达78%，这是因为半导体器件对静电放电时分灵敏；
3．静电放电发生的电磁波可导致电子仪器和设备的杂音和误动作；
4．静电放电的发光可导致照相肢片等感光损坏；
5．静电的力学景象可导致筛孔被粉尘阻塞，纺纱线缤纷，印刷品深浅不均和成品污染；
静电事故的发生主要在于静电的发生和积累，而气流的活动，气流和管道、风口、过滤器等冲突，人体和衣服的冲突，衣服之间的冲突，技术上的研磨，喷涂、射流、洗刷、拌和、粘合和剥离等操作，一切选些都也许发生静电，在通常情况下，越是电导率小的非导体（绝缘体），因为电荷发生后不易活动，因此表现为越简单带电。
静电疑问所以在洁净车间中特别严重，是因为不但在洁净车间中具有前述发生静电的多种技术要素，而且因为洁净车间中的很多资料如塑料地上、墙面，尼龙、的确良等厂服都有很高的电阻率，都极易发生静电和集聚静电，在洁净车间的静电灾祸未被注重曾经。