在超精密机械加工磨床中还常常采用下列驱动方式。
(l)电动机通过柔性联轴器驱动机床主轴。采用这种驱动方式时，电机和机床主轴在
同一轴线上，通过电磁联轴器或其他柔性联轴器和超精密机床的主轴相联结，这时机床的
主轴部件要比通过传动带驱动紧凑得多。采用这种主轴驱动方式时，电机采用直流电动机
或交流变频电动机，珂以很方便地实现无级调速。
(2)采用内装式同轴电动机驱动机床主轴。采用这种驱动方式时，电动机是专制的内
装式，电动机轴即为机床主轴。电动机的转子直接装在机床主轴上，电动机的定予装在主
轴箱内，电动机自己没有轴承，而是依靠机床的高精度空气轴承支撑转子的转动．电机采
用无刷直流电机，主轴转速可以方便地无级变速：同时电机还有电刷，不但可消除电刷引
起的摩擦振动而且免除了电刷磨损对电机运转的影响．现在一般的直流电动机都是方波驱
动(驱动转矩变化大致在8%一l0%)，若采用正弦波驱动，驱动转矩可控制在5%以内。超精
密机床的主轴电动机一般要求在某速度以下为恒转矩，某功率以上为恒功率，这样在低速
时可满足必要的加工转矩。到较高的直线运动精度。
(3)再循环滚柱滚动组件。直线滚动轴承的工作长度受到轴承长度的限制。再循环滚
动组件由于滚柱的再循环，它的工作行程长度可以无限，没有任何限制。图3.17(a)所示是
单列滚柱的再循环滚动组件的外观图和这组件使用在矩形导轨时，再循环滚柱组件的安装
情况。为保证导轨的两侧面导向准确，消除间隙，用调整螺钉侧面给再循环滚动组件加一
定的预载应力。
