l.精密加工机床
精密加工机床是实现精密加工的首要条件，各国投入了大量的资金对它进行研究。目前的主要研究方向是提高机床丰轴的回转精度，工作台的直线运动精度以及刀具的微量进给精度。精密机床主轴轴承要求具有很高的回转精度，转动平稳，无振动，其关键在于主轴轴承。早期的精密丰轴轴承采用超精密级的滚动轴承，而目前使用的精密主轴轴承是静、动态性能更加优异的液体静压轴承和空气静压轴承。工作台的直线运动精度是由导轨决定的。精密机床使用的导轨有滚动导轨、液体静压导轨、气浮导轨和空气静压导轨。为了提高刃具的进给精度，必须使用微量进给装置。微量进给装置有多种结构形式、多种工作原理。目前只有弹性变形式和电致伸缩式微量进给机构比较适用，尤其是电致伸缩微量进给装置，可以进行自动化控制，有较好的动态特性，在精密机床进给系统中得到广泛的应用。
2．金刚石刀具
精密切削加工必须能够均匀地切除极薄的金属层，微量切除是精密加工的重要特征之一。金刚石刀具是精密切削的重要手段。金刚石刀具有两个重要的问题要解决：一是金刚石晶体的晶面选择，这对刀具的使用性能有重要的影响；二是金刚石刀具刃L]的锋利性，即刀具刃口的圆弧半径，它直接影响到切削加工的最小切削深度，影响到微量切除能力和加工质量。先进困家刃磨金刚石刀具的刃口半径可以小到数纳米的水平。我国在这方面的研究相对落后，日前刃磨的金刚石刀具的刃口半径能达到0.1～0.3 Vm。另外，当刃口半径小于0.01 pm时，必须解决测景卜的难题。
3．精密切削机理
精密切削是微鼍切削，微量切削过程中许多机理方面的问题都有其特殊性，如积屑瘤的形成，鳞刺的产生，切削参数及加工条件对切削过程的影响，以及它们对加丁精度和表面质量的影响，都与常规切削有很大的不同。因此，必须对这些切削机理方面的问题进行深入研究，掌握其变化规律，以便更好地利用精密加工技术提高零件的加工精度和表面质量。
4．稳定的加工环境
精密加工必须在稳定的加工环境下进行，主要包括恒温、防振和空气净化三个方面的条件。精密加工必须在严格的多层恒温条件下进行，即不仅工作间应保持恒温，还必须对机床本身采取特殊的恒温措旌，使加工区的温度变化极小。为了捉高精密加工系统的动态稳定性，除在机床结构设计和制造上采取各种减振措施外，还必须用隔振系统来消除外界振动的影响。由于精密加工的加工精度和表面粗糙度要求极高，空气中的尘埃将直接影响加工零件的精度和表面粗糙度，因此必须对加工环境的空气进行净化，对大于某一尺寸的尘埃进行过滤。国外已研制成功了对0.1岬的尘埃有gg%净化效率的高效过滤器。
5．误差补偿
当加工精度高于一定程度后，若仍然采用提高机床的制造精度，保证加工环境的稳定性等误差预防措施提高加工精度，这将会使所花费的成本大幅度增加。这时应采取另一种所谓的误差补偿措施，即是通过消除或抵消误差本身的影响，达到提高加工精度的目的。国外的一些著名精密机床采用了误差补偿的方法，取得了很好的效果。
6．精密测量技术
精密加工技术离不开精密测量技术，精密加工要求测量精度比加工精度高一个数量级。目前，精密加工中所使用的测量仪器多以干涉法和高灵敏度电动测微技术为基础，如激光干涉仪、多次光波干涉显微镜及幕复反射干涉仪等。国外广泛发展非接触式测量方法并研究原予级精度的测量技术。Johaness公司生产的多次光波干涉显微镜的分辨率为0.5nm．扫描隧道显微镜的分辨率为O.Olnm．是目前世界上精度最高的测量仪之一。最新的研究结果证实，在扫描隧道显微镜下可移动原子，实现精密工程的最终目标——原子级精密加工。
