西青区大行程三轴超精密气浮运动台用于晶圆激光加工同时可应用于激光加工、CCD成像、LED封装检测、晶圆检测以及其它制造等行业。
天津南开区/河北区飞行模拟设备运用到气浮设备,飞行模拟设备有卫星、飞船、空间站、在大气层外的导弹和火箭、探空火箭等空间飞行器
河西区气浮运动台的高精度指标解析,气浮导轨基于气体动静压效应,实现无摩擦和无振动的平滑移动,与直驱直线电机,精密光栅尺组成闭环控制
南开区多轴气浮精密运动台用于晶圆切割,半导体主要应用于晶圆制造与芯片封装环节。由于半导体制造与封测技术的复杂性,从晶圆裸片到芯片成品,中间需要经过氧化、溅镀、光刻、刻蚀、离子注入、以及封装等上百道特殊的工艺步骤