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河西区气浮运动台的高精度指标解析

2021年05月27日 16:02:22 发布

河西区气浮运动台的高精度指标解析,气浮导轨基于气体动静压效应,实现无摩擦和无振动的平滑移动,与直驱直线电机,精密光栅尺组成闭环控制
河西区气浮运动台的高精度指标解析,气浮导轨基于气体动静压效应,实现无摩擦和无振动的平滑移动,与直驱直线电机,精密光栅尺组成闭环控制,实现高精度移动定位。与摩擦式导轨相比,气浮直线台的直线度、平面度,Pitch/Roll/Yaw指标得到了很大的提高,同时由于非接触式,伺服反馈的跟随误差有了质的飞跃,定位精度和重复精度得到了显著提高。

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