西青区大行程三轴超精密气浮运动台用于晶圆激光加工|其他仪器仪表分类信息

西青区大行程三轴超精密气浮运动台用于晶圆激光加工同时可应用于激光加工、CCD成像、LED封装检测、晶圆检测以及其它制造等行业。
这种结构可接受定制大行程，增加多工位，提升工作效率。
底轴Y轴用于微动调整步进，气浮结构保证了高直线度。上轴X轴搭载激光用于快速扫描切割晶圆，高平面度指标保证了理想的切割直线，同时能够实现高动态响应和快速位置整定，Z轴采用低摩擦气缸配重，用于微调整，气浮结构有效的提升了垂直方向上的性能，行程可定制。