加氢纯化（H2 Deoxo）
经变压吸附（PSA）或膜系统制得的原料氮气与少量氢混合后，在填装有金属钯催化剂的反应器中残氧与氢反应生成水蒸气，随后经一后冷却器使大部分水蒸气冷凝下来，并经过高效水分离器除去冷凝水，吸附式干燥器可使产品气露点达到-70℃以下。产品气纯度通过分析仪连续进行在线监测。
其化学方程式为： 2H2+O2 = 2H2O+热
为了确保氧被完全脱除，实际的H2与O2比率略高于理论值，若进口原料氮气中氧含量高于1.5vol%，可采用多级处理系统。精制后氮气纯度可达99.9995%。
加氢精制N2装置由混合器、催化反应器、后冷却器、旋风分离器、过滤器或吸附式干燥器、氧分析仪、流量计以及产品氮气缓冲罐组成。
加氢纯化工艺流程图
加氢纯化系统特别适合于氮/氢气氛的热处理行业。
碳载纯化（C Deoxo）
对于氢气比较敏感，或氢气源有困难的工艺过程，可以使用碳载脱氧。原料氮气与过量的碳精在高温条件下，反应生成CO2，再经过脱碳氧化合物的吸附塔，可以得到99.9995%的高纯氮气。
化学反应方程式： C+O2 = CO2 + 热
碳载纯化N2装置由：加热器、反应塔、水冷却器、CO2脱去吸附塔、氧分仪、流量计，及产品氮气缓冲罐组成。
为了减少碳精的更换频率，提高设备的利用率并减少更换碳纤维的繁琐工作，苏美一般推荐粗氮纯度为99.9%，在此纯度条件下可以兼顾空压机功率消耗和碳精的消耗的平衡，达到经济运行目的。
碳载纯化工艺流程图
