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随着硅片制造端企业更追求于较高的硅片切割质量,较低的切割制造成本,更环保的生产过程。在此背景下,金刚线切割技术由于硅棒利用率高、耗时省、能耗低,综合技术优势明显,逐渐为硅片生产企业所青睐。然而,采用金刚线切割后产生的切割废水由于其含有极细的微粉颗粒较难达标排放处理,必须寻求一种既能使废水处理后水、切割药剂的回收套用,又能收集废水中废硅粉变废为宝的技术。这样既实现了清洁生产,又节约了生产成本。