μsoft automation拥有功能强大的数据库。测量结果和报告被永久储存并用作统计过程控制。网络中心数据库及其数据可以通过多重系统进行访问。系统支持wafer map导入,基准识别,TCP/IP接口和测量数据传送至统计软件(如QS-Stat),软件完全满足现行工业标准;同时支持两台计算机同步采集数据和报表。严格区分操作员和管理员模式最大限度保证易用性和结果的可靠性。集成μscan传感器的全自动检测系统可使用I/O接口与其它设备通信。预先编辑的测量程序可以同时应用多种传感器,并可以按预先设定自动更换。可定制的测量方式对于单个样品,可以定义无限个测量位置,并且每个位置可以分别指定不同的传感器设置。进行系列测量时,多个样品就像单个样品一样被移动并测量。这样,根据设置,既可以所有样品同时测量,也可以暂停或激活任意一个样品。
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