我们了解过氩气因为其性质不活泼，被广泛应用于照明技术，窗户玻璃隔热等领域，其实氩气还有一个非常重要的应用，那就是被应用在等离子清洗机中，那么，氩气在等离子清洗机中的作用有哪些？氩气在等离子清洗机种应用的优势有哪些呢？下面是乌鲁木齐特殊气体公司为大家做出的总结，我们一起来看一下。
1、表面清洁
在晶圆、玻璃等产品表面颗粒的清除过程中，通常会采用等离子体对材料表面的颗粒进行轰击，加以实现对颗粒的分散和松动处理，然后再进行离心清洗等处理工艺，会有着显著的效果。在半导体封装应用中尤为突出，在经过打线工艺后为防止导线氧化，需采用氩等离子体或氩氢等离子对产品表面进行等离子清洗，实现更好的产品处理效果。
2、表面粗化
等离子清洗机的表面粗化处理也称为表面刻蚀处理，其主要目的是提升材料的表面粗糙度，进而增强材料的粘接、印刷和焊接等性能。其他活性气体经处理后也可提升产品表面张力，但氩离子化产生的颗粒要更重，在电场的作用下氩离子的动能较高于其他活性气体，所以其粗化效果更号。氩气在无机物表面粗化的过程中应用比较广泛，如玻璃基材的表面处理、金属基材的表面处理等。
3、活性辅助
在等离子清洗机的活化和清洗工艺中，工艺气体经常被混合使用，以达到更佳的效果。因为氩气的分子比较大，电离后产生的粒子比较后，在进行表面清洗和活化时通常会配合活性气体混合使用，较常见的就是氩气和氧气的混合。氧气为高活性气体，可有效地对有机污染物或有机基材表面进行化学分解，但其粒子相对较小，断键和轰击能力有限，如加上一定比例的氩气，那么所产生的等离子体对有机污染物或有机基材表面的断键和分解能力就会更强，加快清洗和活化的效率。
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